Přejít k obsahu


In-process ZnO thin films alloying during pulsed laser deposition

Citace: [] BRUNCKO, J., VINCZE, A., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P., MICHALKA, M., UHEREK, F. In-process ZnO thin films alloying during pulsed laser deposition. APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2013, roč. 110, č. 4, s. 877-882. ISSN: 0947-8396
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: In-process ZnO thin films alloying during pulsed laser deposition
Rok vydání: 2013
Autoři: Ing. Jaroslav Bruncko PhD. , Ing. Andrej Vincze PhD. , Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Miroslav Michalka , Prof. Ing. František Uherek
Abstrakt CZ: Slitiny v tenké vrstvě ZnO:Al byly vytvořeny pulzní laserovou depozicí ze dvou čistých terčů (ZnO a Al) při jednom depozičním procesu. Byly aplikovány dvě depoziční teploty a následně porovnávány různé dynamiky difúze. Nadeponované vrstvy byly žíhány se snahou homogenně redistribuovat hliník. Výsledky odpovídající amorfní struktuře (vzorky, které rostly při teplotě -197°C) ZnO ukazují vhodné podmínky pro účinnou difúzi Al v porovnání s krystalickou strukturou (vzorky, které rostly při 400°C). Detailní vyšetřování pomocí SIMS hloubkového profilu potvrdilo homogenní chemické uspořádání vyžíhaných a rekrystalizovaných vrstev, které ukazují přírodně porézní a wurtzitovou krystalickou strukturu.
Abstrakt EN: Alloyed ZnO:Al thin ?lms were prepared by a pulsed laser deposition by the altering of two pure targets (ZnO and Al) during the deposition process. Two deposition temperatures ( ? 197 °C and 400 °C) were applied and differences of diffusion dynamics were compared. As-grown layered ?lms were annealed and aluminium distribution was homogenized. The results revealed that the amorphous structure (samples grown at ? 197 °C) of ZnO provide more positive conditions for ef?cient Al diffusion in comparison with crystalline structure (samples grown at 400 °C). A detailed investigation by SIMS depth pro?ling con?rmed a homogeneous chemical composition of annealed and recrystallized ?lms which exhibited a porous nature and wurtzite crystalline structure.
Klíčová slova

Zpět

Patička