Přejít k obsahu


Pulsed laser deposition of thin films on actively cooled substrates

Citace: BRUNCKO, J., NETRVALOVÁ, M., VINCZE, A., ŠUTTA, P., MICHALKA, M., UHEREK, F. Pulsed laser deposition of thin films on actively cooled substrates. Vacuum, 2013, roč. 98, č. December, s. 56-62. ISSN: 0042-207X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Pulsed laser deposition of thin films on actively cooled substrates
Rok vydání: 2013
Autoři: Ing. Jaroslav Bruncko Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Ing. Andrej Vincze Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Miroslav Michalka , František Uherek
Abstrakt CZ: Článek se zaobírá speciálním uspořádáním pulzní laserové depozice (PLD) substrátů chlazených na kryogenní teplotu tekutým dusíkem během depozičního procesu. Aplikované materiály - oxid zinečnatý a oxid titaničitý - hrají významnou roli v současných optoelektronických a senzorických výzkumech. Bylo porovnáváno chování těchto materiálů v daném uspořádání. Připravené vrstvy (deponované na různé substráty: Si (100) a safír) byly vyšetřovány v původním stavu a jejich vlastnosti byly porovnávány. Vyšetřování provedené XRD a Ramanovou spektroskopií potvrdilo amorfní strukturu. Následně po vyžíhání při různých teplotách (do 800°C) byly zjišťovány vlastnosti modifikované struktury a porovnány pomocí různých analytických metod (SEM, XRD, Ramanova spektroskopie, UV-Vis spektroskopie a spektroskopické elipsometrie).
Abstrakt EN: The paper deals with a special arrangement of pulsed laser deposition (PLD) when the substrates were cooled at cryogenic temperatures by liquid nitrogen during the deposition process. Applied materials - zinc oxide and titanium dioxide - play an important role in current optoelectronics and sensor research and a comparative study of their behaviour in presented PLD arrangements were performed. Prepared films (deposited on different substrates: Si (100) and sapphire) were investigated in as-deposited states and their properties in dependence of deposition temperature were compared. Investigation by X-ray diffraction and Raman spectroscopy proved their amorphous structure. Subsequently, annealing under different temperatures (up to 800°C) was applied and properties of modi?ed structures were compared by using different analytical methods (scanning electron microscopy, X-ray diffraction, Raman spectroscopy, optical absorption spectroscopy and spectroscopic ellipsometry).
Klíčová slova

Zpět

Patička