Přejít k obsahu


Effect of Si and N on oxidation resistance of magnetron sputtered Zr-Si-B-C-N films

Citace: ZUZJAKOVÁ, Š., ZEMAN, P., KOHOUT, J., MAREŠ, P., ČERSTVÝ, R., VLČEK, J. Effect of Si and N on oxidation resistance of magnetron sputtered Zr-Si-B-C-N films. Paříž, Francie, 2013.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Effect of Si and N on oxidation resistance of magnetron sputtered Zr-Si-B-C-N films
Rok vydání: 2013
Autoři: Ing. Šárka Zuzjaková , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Mgr. Jiří Kohout , Ing. Pavel Mareš , Ing. Radomír Čerstvý , Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc.
Abstrakt CZ: Vrstvy Zr-B-C připravené pomocí nereaktivního magnetronového naprašování vykázaly zvýšenou tvrdost, vysokou elektrickou vodivost a odolnost vůči oxidaci do 600 °C. V této práci je systematicky vyšetřován vliv Si a N na vysokoteplotní chování vrstev Zr-Si-B-C-N s cílem zvýšit oxidační odolnost vrstev při zachování vysoké elektrické vodivosti a dobré tvrdosti. Vrstvy Zr-Si-B-C připravené s 20% podílem Si v erozní zóně vykazují vysokou tvrdost, nízkou elektrickou rezistivitu a dobrou oxidační odolnost do 750 °C. Vrstvy připravené s 20% podílem Si v erozní zóně a 5% podílem N2 v plynné směsi vykazují vysokou tvrdost, mírně vyšší el. rezistivitu a oxidační odolnost až do 1000 °C. Vysoká tvrdost a nízká el. rezistivita zůstávají stejné i po ohřevu na 900 °C ve vzduchu.
Abstrakt EN: The Zr-B-C films prepared in our laboratories by nonreactive magnetron sputtering have showed an enhanced hardness, high el. conductivity and resistance against oxidation up to 600 °C. In the present paper, the effect of Si and N on high temperature behavior of the Zr-Si-B-C-N films is systematically investigated with aim to extend oxidation resistance of the films to higher temperatures while preserving high el. conductivity and good hardness. The Zr-Si-B-C films deposited with the 20% Si fraction in the target erosion area exhibit high hardness, low el. resistivity and good oxidation resistance up to 750 °C. The films deposited with the 20% Si fraction in the target erosion area and with the 5% N2 fraction in the gas mixture exhibit high hardness, slightly higher el. resistivity and oxidation resistance up to 1000 °C.
Klíčová slova

Zpět

Patička