Přejít k obsahu


Microstructure of µc-Si:H films prepared by PECVD when used different substrates

Citace: NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P., CALTA, P., PRUŠÁKOVÁ, L., VAVRUŇKOVÁ, V., NOVOTNÝ, I., TVAROŽEK, V. Microstructure of ?c-Si:H films prepared by PECVD when used different substrates. Paris, France, 2013.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Microstructure of ?c-Si:H films prepared by PECVD when used different substrates
Rok vydání: 2013
Autoři: Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Pavel Calta Ph.D. , Ing. Lucie Prušáková Ph.D. , Ing. Veronika Vavruňková Ph.D. , I. Novotný , V Tvarožek
Klíčová slova

Zpět

Patička