Přejít k obsahu


Thermally activated transformations in metastable alumina coatings prepared by magnetron sputtering

Citace: ZEMAN, P., ZUZJAKOVÁ, Š., BLAŽEK, J., ČERSTVÝ, R., MUSIL, J. Thermally activated transformations in metastable alumina coatings prepared by magnetron sputtering. Surface & Coatings Technology, 2014, roč. 2014, č. 240, s. 7-13. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thermally activated transformations in metastable alumina coatings prepared by magnetron sputtering
Rok vydání: 2014
Autoři: Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Šárka Zuzjaková , Ing. Jakub Blažek , Ing. Radomír Čerstvý , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc.
Abstrakt CZ: Hlavním cílem této práce bylo charakterizovat a hlouběji porozumět transformačním procesům v magnetronově naprášených povlacích Al2O3 s různou strukturou. Sekvence fázových transformací spolu s termodynamickými a kinetickými daty byly vyšetřovány pomocí diferenciální skenovací kalorimetrie a ex-situ rentgenové difrakce. Bylo zjištěno, že povlak s čistě krystalickou metastabilní gama-Al2O3 strukturou je stabilní až do teploty 1100 °C. Povlak s čistě amorfní nadeponovanou strukturou je stabilní až do teploty přibližně 900 °C. Při této teplotě se amorfní struktura transformuje do krystalické gama-Al2O3. Nezávisle na nadeponované struktuře se metastabilní gama-Al2O3 při teplotě přibližně 1200 °C transformuje do alfa-Al2O3. Dále bylo také ukázáno, že změny v entalpiích jednotlivých procesů jsou podobné, avšak kinetika jednotlivých transformací závisí na nadeponované struktuře povlaků.
Abstrakt EN: The present study focuses on characterization of transformation processes and understanding of transformation phenomena in magnetron sputtered alumina coatings with different as-deposited structures. Phase transformation sequences with thermodynamic and kinetic data were systematically analyzed by means of differential scanning calorimetry and ex-situ X-ray diffraction. It was found that thermal stability of a pure gamma-phase as-deposited structure exceeds 1100 °C. On the contrary, an amorphous as-deposited structure is thermally stable to approximately 900 °C when the amorphous to gamma phase transformation starts proceeding. Independently of as-deposited structure, the metastable gamma phase transforms to the stable alpha phase at temperature of approximately 1200 °C. Further, it was shown that the changes in transformation enthalpies for all observed transformations are close to each other while the kinetic of the phase transformations is influenced by the as-deposited structure of the coatings.
Klíčová slova

Zpět

Patička