Přejít k obsahu


Mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films prepared by reactive magnetron sputterting

Citace: MUSIL, J., HROMÁDKA, M., ČERSTVÝ, R., SOUKUP, Z. Mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films prepared by reactive magnetron sputterting. Journal of Vacuum Science and Technology A, 2014, roč. 32, č. 2, s. 021504-1-021504-6. ISSN: 0734-2101
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films prepared by reactive magnetron sputterting
Rok vydání: 2014
Autoři: Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Mgr. Martin Hromádka , Ing. Radomír Čerstvý , Ing. Zbyněk Soukup Ph.D.
Abstrakt CZ: Sn-Cu-O tenké vrstvy byly deponovány na Si (100) substráty pomocí reaktivního magnetronového naprašování v atmosféře argon+kyslík. Byl detailně zkoumán vliv teploty substrátu a množství mědi ve vrstvách Sn-Cu-O na jejich mechanické a tribologické vlastnosti. Nejdůležitějším výsledkem je zjištění, že znalost vzájemných vztahů mezi mechanickými a tribologickými vlastnostmi vrstev umožňuje optimalizovat jejich tribologické vlastnosti a připravit tak Sn-Cu-O vrstvy s nízkými hodnotami koeficientu tření a rychlosti otěru.
Abstrakt EN: Tin-copper-oxide (Sn-Cu-O) thin films were deposited onto Si (100) substrates by reactive magnetron sputtering in an argon-oxygen atmosphere. The effect of the substrate temperature and the amount of Cu in the Sn-Cu-O films on its mechanical and tribological properties was investigated in detail. The most important result of the investigation reported is the finding that the knowledge of interrelationships between the mechanical and tribological properties of films makes it possible to optimize their tribological properties and to prepare Sn-Cu-O films with minimum values of the coefficient of friction and wear rate.
Klíčová slova

Zpět

Patička