Přejít k obsahu


Flexible Ti-Ni-N Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering

Citace:
MUSIL, J., JÍLEK, R., ČERSTVÝ, R. Flexible Ti-Ni-N Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering. Journal of Materials Science and Engineering A, 2014, roč. 4, č. 1, s. 27-33. ISSN: 2161-6213
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Flexible Ti-Ni-N Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
Rok vydání: 2014
Autoři: Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Richard Jílek , Ing. Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Článek se zabývá flexibilními Ti-Ni-N vrstvami, které vykazují vysokou odolnost oproti vzniku trhlin. Ti-Ni-N vrstvy byly připraveny reaktivní magnetronovou depozicí za použití duálního magnetronu. Výsledky experimentů ukazují že: nízký efektivní Youngův modul splňující vysoký poměr tvrdosti a efektivního Youngova modulu, vysoká elastická vratnost a tlakové pnutí jsou nutné podmínky, které zajistí, že vrstvy Ti-Ni-N vykazují vysokou odolnost proti vzniku trhlin v ohybu. Vrstvy Ti-Ni-N s těmito vlastnostmi patří do nové skupiny materiálů nazvaných flexibilní vrstvy. Tyto vrstvy jsou zároveň tvrdé, houževnaté a odolné proti vzniku trhlin.
Abstrakt EN: The article reports on flexible Ti-Ni-N films which exhibit an enhanced resistance to cracking in bending. The Ti-Ni-N films were prepared by reactive magnetron sputtering using a dual magnetron. Results of reported experiments demonstrate that: a low effective Young?s modulus resulting in a high ratio of hardness to effective Young?s modulus; a high elastic recovery and a compressive macrostress are necessary conditions which ensure that the Ti-Ni-N films exhibit an enhanced resistance against cracking in bending. The Ti-Ni-N films with these properties belong to a new class of advanced coatings called flexible coatings. These coatings are simultaneously hard, tough and resistant to cracking.
Klíčová slova

Zpět

Patička