Přejít k obsahu


Thermal conductivity analysis of delaminated thin films by scanning thermal microscopy

Citace: MARTINEK, J., VALTR, M., CIMRMAN, R., KLAPETEK, P. Thermal conductivity analysis of delaminated thin films by scanning thermal microscopy. Measurement Science and Technology, 2014, roč. 25, č. 4, s. 1-7. ISSN: 0957-0233
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thermal conductivity analysis of delaminated thin films by scanning thermal microscopy
Rok vydání: 2014
Autoři: J. Martinek , M. Valtr , Ing. Robert Cimrman Ph.D. , P. Klapetek
Abstrakt CZ: Skenovací tepelná mikroskopie (SThM) je technika umožňující mapování teploty a tepelných vlastností povrchů pevných látek s velmi vysokým rozlišením. V minulosti byla použita pro určování různých tepelně-fyzikálních vlastností a má lepší laterální rozlišení než jiné tepelné techniky. Absolutní určení tepelné vodivosti pomocí SThM je však stále problematické z důvodu složitého přestupu tepla mezi sondou a vzorkem. V článku představujeme metodu na určení tepelné vodivosti tenké vrstvy založenou na použití defektů tenké vrstvy - delaminací. Ukazujeme, že kombinace měření navázané a odlehlé vrstvy společně s numerickou analýzou umožňuje určit izotropní tepelnou vodivost vrstvy jediným SThM měřením, bez apriorní znalosti vlastností spoje sonda-vzorek.
Abstrakt EN: Scanning thermal microscopy (SThM) is a scanning probe microscopy technique for mapping temperature and thermal properties of solid surfaces with very high resolution. It has been used for the determination of various thermophysical properties in the past and it delivers better lateral resolution than any other thermal technique. Absolute determination of thermal conductivity using SThM, however, is still problematic due to the complex nature of the heat exchange between the probe and sample. In this paper we present a method for thin film thermal conductivity determination based on the use of thin film defects?delaminations. We show that, using a combination of bonded and debonded film measurements together with numerical analysis, we can use a single SThM measurement to determine the isotropic thermal conductivity of the film, without a priori knowledge of probe?sample junction properties.
Klíčová slova

Zpět

Patička