Přejít k obsahu


Elektronová litografie ve skenovacím elektronovém mikroskopu

Citace:
HAVIAR, S. Elektronová litografie ve skenovacím elektronovém mikroskopu. Kouty na Vysočině, 2014.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: cze
Rok vydání: 2014
Autoři: Mgr. Stanislav Haviar Ph.D.
Abstrakt CZ: Přednáška je koncipována jako úvodní lekce do metody elektronové litografie. Dále jsou rozebírány možnosti metody, pokud je prováděna v komoře elektronového mikroskopu. V závěru příspěvku jsou uvedeny i příklady praktických aplikací metody v základním výzkumu
Klíčová slova

Zpět

Patička