Přejít k obsahu


Mechanical and tribological properties of magnetron sputtered (Ti, Al, V)N nitride films

Citace:
PROCHÁZKA, J., ČERSTVÝ, R., SOUKUP, Z., MUSIL, J. Mechanical and tribological properties of magnetron sputtered (Ti, Al, V)N nitride films. Garmisch-Partenkirchen, Německo, 2014.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Mechanical and tribological properties of magnetron sputtered (Ti, Al, V)N nitride films
Rok vydání: 2014
Autoři: Ing. Jan Procházka , Ing. Radomír Čerstvý , Ing. Zbyněk Soukup Ph.D. , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc.
Abstrakt CZ: Tato práce pojednává o struktuře a mechanických vlastnostech vrstev (Ti, Al, V)Nx připravených reaktivním magnetronovým naprašováním. Vrstvy (Ti, Al, V)Nx byly připraveny rozprašováním slitinového terče (90 at.% Ti, 6 at.% Al, 4 at.% V) ve směsi Ar+N2 na ocelové, Si(100) a molybdenové substráty s použitím DC předpětí. Struktura vrstev, mikrotvrdost a odolnost proti vzniku trhlin byly určeny pomocí RTG difrakce, měření mikrotvrdosti a ohybového testu. Byl zkoumán vliv předpětí Us a energie E dodané do rostoucí vrstvy na strukturu (krystalografickou orientaci) vrstev, mechanické vlastnosti a odolnost proti vziku trhlin. Tento výzkum ukazuje, (1) za jakých podmínek lze připravit vrstvy (Ti, Al, V)Nx s krystalografickou orientací (111) a (220) a (2) jak tato přednostní orientace ovlivňuje mechanické vlastnosti a odolnost proti vzniku trhlin.
Abstrakt EN: The paper reports on structure and mechanical properties of (Ti, Al,V)Nx films prepated by reactive magnetron sputtering. The (Ti, Al, V)Nx films were sputtered from a VT6 alloy (90 at.% Ti, 6 at.% Al, 4 at.% V) in an Ar+N2 gas mixtures on steel, Si (100) and Mo substrates biased with DC power supply. The structure of films, their mechanical properties and resistance to cracking were characterized by X-ray diffraction, microhradness tester and bending test, respectively. The effect of the substrate bias Us, and the energy E delivered to the growing film on its structure (crystallographic orientation), mechanical properties and resistance to cracking in bending were investigated in detail. This investigation shows (1) under which conditions the (Ti, Al, V) Nx films with preferred (111) and (220) crystallographic orientation can be formed and (2) how the preferred crystallographic orientation of (Ti, Al,V) Nx film influences its mechanical properties.
Klíčová slova

Zpět

Patička