Přejít k obsahu


Characterization of transformation processes in annealed alumina films with metastable structure

Citace:
ZUZJAKOVÁ, Š., ZEMAN, P., ČERSTVÝ, R., BLAŽEK, J., MUSIL, J. Characterization of transformation processes in annealed alumina films with metastable structure. Garmisch-Partenkirchen, Německo, 2014.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Characterization of transformation processes in annealed alumina films with metastable structure
Rok vydání: 2014
Autoři: Ing. Šárka Zuzjaková , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Radomír Čerstvý , Jakub Blažek , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc.
Abstrakt CZ: Cílem této práce bylo charakterizovat transformační procesy v magnetronově naprášených vrstvách Al2O3 s metastabilní strukturou. Fázové transformace spolu s termodynamickými a kinetickými daty byly systematicky analyzovány pomocí diferenciální skenovací kalorimetrie a ex-situ rentgenové difrakce. Bylo ukázáno, že vysokoteplotní stabilita vrstvy s ?-Al2O3 nadeponovanou strukturou dosahuje až 1100 °C během jejího ohřevu ve vzduchu rychlostí 40 °C/min. Naopak vrstva s amorfní nadeponovanou stukturou ohřívaná za stejných podmínek je stabilní do teploty přibližně 900 °C. Při vyšších teplotách se amorfní struktura začíná transformovat na ?-Al2O3. Nezávisle na nadeponované struktuře se fáze ?-Al2O3 transformuje při teplotě přibližně 1200 °C na ?-Al2O3. Dále bylo také ukázáno, že kinetika fázových transformací je ovlivněna strukturou, kterou mají nadeponované vrstvy.
Abstrakt EN: The aim of present study is to characterize transformation processes and understand transformation phenomena in magnetron sputtered alumina films with a metastable structure. Phase transformation sequences with thermodynamic and kinetic data were systematically analyzed by means of differential scanning calorimetry and ex-situ X-ray diffraction. It was shown that thermal stability of a pure ?-phase as-deposited structure exceeds 1100 °C as the film is heated in air at 40 °C/min. On the contrary, an amorphous as-deposited structure is thermally stable to approximately 900 °C at the same heating conditions when the amorphous to ?-phase transformation starts proceeding. Independently of the as-deposited structure, the metastable ?-phase transforms to the stable ?-phase at temperature of approximately 1200 °C. Further, it was shown that the kinetic of the phase transformations is influenced by the as-deposited structure of the films.
Klíčová slova

Zpět

Patička