Přejít k obsahu


Quantitative investigation of the role of high-energy particles in Al2O3 thin film growth: A molecular-dynamics study

Citace:
HOUŠKA, J. Quantitative investigation of the role of high-energy particles in Al2O3 thin film growth: A molecular-dynamics study. Surface and Coatings Technology, 2014, roč. 254, č. September 2014, s. 131-137. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Quantitative investigation of the role of high-energy particles in Al2O3 thin film growth: A molecular-dynamics study
Rok vydání: 2014
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D.
Abstrakt CZ: Přítomnost malého množství vysokoenergetických částic v celkovém toku částic je důležitým faktorem ovlivňujícím strukturu tenkých vrstev deponovaných atom po atomu. Role vysokoenergetických částic (do 400 eV) je v práci studována pomocí simulací využívajících molekulární dynamiku, zaměřených na zisk experimentálně nedostupných kvantitativních informací. V případě částic vytvářejících rostoucí vrstvy výsledky ukazují, že jedno až několik procent vysokoenergetických atomů postačuje k amorfizaci jinak krystalických materiálů. Všechny tyto částice musí být proto uvažovány jednotlivě, každá musí mít optimální energii (optimální průměrná energie na atom sama o sobě nestačí). V případě energetického bombardování jinými částicemi (například Ar) výsledky ukazují, že amorfizace může nastat i zde, ale v porovnání s předchozím případem vyžaduje větší energie a/nebo větší počet dopadů částic.
Abstrakt EN: Presence of a small fraction of high-energy particles in the total particle flux is an important factor which affects the structure of atom-by-atom deposited thin films. In this paper the role of high-energy (up to 400 eV) particles is studied by molecular dynamics simulations, focused on obtaining quantitative information not accessible experimentally. In the case of film-forming particles, the results show that one to few percent of high-energy atoms is sufficient for amorphization of otherwise crystalline materials. Consequently, all film-forming atoms have to be considered separately and have the optimum energy (optimum averaged energy per atom is insufficient). In the case of energetic bombardment by non film-forming particles such as Ar, the results show that the film amorphization can take place but it requires higher energies and/or much higher number of particle impacts compared to the former case.
Klíčová slova

Zpět

Patička