Přejít k obsahu


Crystallized silicon nanostructures - experimental characterization and atomistic simulations

Citace:
AGBO, S., ŠUTTA, P., CALTA, P., BISWAS, R., PAN, Crystallized silicon nanostructures - experimental characterization and atomistic simulations. Canadian Journal of Physics, 2014, roč. 98, č. 7-8, s. 783-788. ISSN: 0008-4204
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Crystallized silicon nanostructures - experimental characterization and atomistic simulations
Rok vydání: 2014
Autoři: Solomon Nwabueze Agbo Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Pavel Calta Ph.D. , Rana Biswas , Bicai Pan
Abstrakt CZ: Syntetizovali jsme křemíkové nanočásticové struktury termálním žíháním tenkých amorfních multivrstev na bázi křemíku. Žíhací procedura, která byla provedena ve vakuu při teplotách do 1100°C, je integrována v nastavení rentgenové difrakce pro real-time monitoring pro formování fázi nanostruktur. Mikrostruktura krystalizovaných vrstev je vyšetřována pomocí experimentálních měření v kombinaci s atomistickou simulací reálných nanokrystalických křemíkových modelů. Multivrstvy sestávají z jednotných tlouštěk hydrogenizovaného amorfního křemíku a křemíkových oxidů, které byly deponovány pomocí plasmou podpořenou chemickou depozicí na monokrystalický křemíkový nebo skleněný Corning substrát.
Abstrakt EN: We have synthesized silicon nanocrystalline structures from thermal annealing of thin film amorphous silicon-based multilayers. The annealing procedure that was carried out in vacuum at temperatures up to 1100 degrees C is integrated in a X-ray diffraction (XRD) setup for real-time monitoring of the formation phases of the nanostructures. The microstructure of the crystallized films is investigated through experimental measurements combined with atomistic simulations of realistic nanocrystalline silicon (nc-Si) models. The multilayers consisting of uniformly alternating thicknesses of hydrogenated amorphous silicon and silicon oxide (SiO2) were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition on crystalline silicon and Corning glass substrates.
Klíčová slova

Zpět

Patička