Přejít k obsahu


Transformation phenomena in metastable alumina coatings

Citace:
ZEMAN, P., ZUZJAKOVÁ, Š., KOS, Š., ČERSTVÝ, R., MUSIL, J. Transformation phenomena in metastable alumina coatings. Seggau, Rakousko, 2014.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Transformation phenomena in metastable alumina coatings
Rok vydání: 2014
Autoři: Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Šárka Zuzjaková , Doc. Mgr. Šimon Kos Ph.D. , Ing. Radomír Čerstvý , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc.
Abstrakt CZ: Tato studie se zabývá vyšetřováním teplotní stability a fázových transformací v metastabilních vrstvách Al2O3 v závislosti na jejich nadeponované struktuře. Pro tento účel byly připraveny vrstvy s čistě amorfní strukturou, se strukturou ?-Al2O3 a se strukturou amorfní fáze + ?-Al2O3. Vrstvy byly připraveny pomocí duálního magnetronu ve směsi argonu a kyslíku při vhodné kombinaci výkonu dodávaného do výboje a teploty substrátu. Vrstvy byly vyšetřovány pomocí diferenciální skenovací kalorimetrie a rentgenové difrakce. Teplotní stabilita nadeponované struktury ?-Al2O3 přesahuje 1100 °C. Naproti tomu amorfní nadeponovaná struktura je teplotně stabilní jen do 900 °C, kdy dochází k její transformaci do ?-Al2O3. Nezávisle na poměru amorfní a krystalické fáze ? v nadeponované struktuře je metastabilní fáze ? transformována do stabilní fáze ? při přibližně stejné teplotě 1200 °C a současně je detekována metastabilní fáze ?. Pro všechny výše popsané transformace byl určen i kinetický triplet.
Abstrakt EN: The present study focuses on the investigation of thermal stability and phase transformations in metastable alumina coatings in dependence on their initial as-deposited structure. For this purpose, purely amorphous, purely ?-phase and ?-phase/amorphous coatings were sputtered in an argon-oxygen mixture at an appropriate combination of discharge power and substrate temperature using a dual magnetron system. The coatings were investigated by a combination of differential scanning calorimetry and X-ray diffraction. Thermal stability of the pure ?-phase as-deposited structure exceeds 1100 °C. On the contrary, the amorphous as-deposited structure is thermally stable to approximately 900 °C when an a-to-? transformation starts proceeding. Independently of the ratio of an amorphous to crystalline ? phase in the as-deposited structure, the metastable ? phase is transformed to the stable ? phase at approximately the same temperature of 1200 °C via the formation of the intermediate metastable ? phase. Kinetic triplet for all the transformation was determined.
Klíčová slova

Zpět

Patička