Přejít k obsahu


Investigation of Preferred Orientation of ZnO Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering

Citace:
NOVÁK, P., ŠUTTA, P., MEDLÍN, R., NETRVALOVÁ, M., ŘÍHA, J. Investigation of Preferred Orientation of ZnO Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering. Sensor Letters, 2014, roč. 12, č. 12, s. 1760-1764. ISSN: 1546-198X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Investigation of Preferred Orientation of ZnO Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
Rok vydání: 2014
Autoři: Ing. Petr Novák Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Rostislav Medlín , Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Ing. Jan Říha Ph.D.
Abstrakt CZ: Vrstvy oxidu zinečnatého (ZnO) se používají pro širokou škálu aplikací, jakými jsou např. biosenzory nebo akutstické rezonanční zařízení. ZnO obvykle vykazuje wurtzitovu strukturu s preferenční orientací (002). Tatto práce je zaměřena nařízení preferenční orinetace ZnO vrstev připravených magnetronovým naprašováním. Bylo zjištěno, že preferenční orientace může být řízena velikostí energie dodané do jednotkového objemu za určité teploty. Byly identifikovány tři různé depoziční režimy vedoucí různým preferenčním orientacím.
Abstrakt EN: Zinc Oxide (ZnO) is a wide bandgap semiconductor material which can be successfully used for wide variety of applications such as biosensors and acoustic resonator devices. ZnO normally crystallizes in the wurtzite structure with c-axis (002) preferred orientation. However, for bio-sensing in liquids, it is necessary to generate a shear horizontal mode wave, where the wave displacement is within the plane of the crystal surface. For generation of a shear horizontal wave, a-axis film textures such as the (110) or (100) are necessary. This work is focused on the preferred orientation control of ZnO film prepared by radio frequency magnetron sputtering. It was found that preferred orientation can be controlled by energy delivered to unit volume of the film at suitable substrate temperature. We have identified three different deposition regimes leading to distinctive preferred orientation.
Klíčová slova

Zpět

Patička