Přejít k obsahu


SYNERGY EFFECT OF XRD, RAMAN, FTIR, UVVIS AND TEM ANALYSES IN μc-Si:H AND nc-Si MICROSTRUCTURE DETERMINATION

Citace:
ŠUTTA, P., MÜLLEROVÁ, J., CALTA, P., AGBO, S., MEDLÍN, R., NETRVALOVÁ, M., VAVRUŇKOVÁ, V., PRUŠÁKOVÁ, L. SYNERGY EFFECT OF XRD, RAMAN, FTIR, UVVIS AND TEM ANALYSES IN ?c-Si:H AND nc-Si MICROSTRUCTURE DETERMINATION. In Proceedings ot the international Conference 29th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition. Mnichov: WIP, 2014. s. 1955-1958. ISBN: 3-936338-34-5 , ISSN: 2196-0992
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: SYNERGY EFFECT OF XRD, RAMAN, FTIR, UVVIS AND TEM ANALYSES IN ?c-Si:H AND nc-Si MICROSTRUCTURE DETERMINATION
Rok vydání: 2014
Místo konání: Mnichov
Název zdroje: WIP
Autoři: Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , J. Müllerová , Ing. Pavel Calta Ph.D. , Solomon Nwabueze Agbo Ph.D. , Ing. Rostislav Medlín , Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Ing. Veronika Vavruňková Ph.D. , Ing. Lucie Prušáková Ph.D.
Abstrakt CZ: Tandemové solární články na bázi a-Si:H / ?c-Si:H dvou či třístupňové technologie jsou velmi důležité pro křemíkovou tenkovrstvou technologii, aby se zvýšila účinnost článků zvláště vhodných pro rezidenční systémy. Vzhledem k tomu, že pro tyto systémy ?c-Si:H a nc-Si materiály mají velký význam, je nutné vytvořit je tak dobré, jak je to jen možné. Za účelem získání požadovaných informací o strukturálních a optických vlastností ?c-Si:H a nc-Si vrstev, rentgenová difrakce, TEM, Ramanova, FTIR spektroskopie a UVVis spektrofotometrie musí být použity. V této studii, a-Si:H, ?c-Si:H vrstvy o tloušťce 300-350nm a SiO2/Si-H multivrstvy tloušťky 600-650 nm byly deponovány pomocí PECVD na skla Corning Glass a krystalické křemíkové substráty k zjištění vlivu zředění silanu vodíkem v ?c-Si:H vrstvách a vliv tloušťky dílčí vrstvy a-Si:H v SiO2/Si-multivrstevné struktuře na mikro-strukturní a optické vlastnosti vrstvy. Studie byla zaměřena na synergický efekt výše uvedených experimentálních technik, kde podrobnější změny mikro-struktury ve vrstvách byly konfrontovány s optickými parametry vrstev jako spektrální index lomu a koeficient absorpce.
Abstrakt EN: Tandem solar cells based on a-Si:H/mc-Si:H double- or triple-junction technology are very important for silicon thin film approach in order to enhance the efficiency of the cells especially convenient for the residential systems. Because for such systems the mc-Si:H and nc-Si materials have substantial importance, it is necessary to create them as good as possible. In order to obtain the required information about the structural and optical properties of the mc-Si:H and nc-Si films, X-ray diffraction, TEM, Raman and FTIR spectroscopies and UVVis spectrophotometry have to be used. In this study, a-Si:H, mc-Si:H films 300-350 nm in thickness and SiO2/a-Si:H multi-layers 600-650 nm in thickness were deposited by PECVD on Corning glass and crystalline silicon substrates to find out the influence of silane dilution with hydrogen in mc-Si:H films and a-Si:H sub-layer thickness in SiO2/a-Si multi-layered films on the micro-structural and optical properties of the films. The study was focused on the synergy effect of the above mentioned experimental techniques when the more detailed micro-structure changes in the films were carried out and the results were confronted with the optical parameters of the films as spectral refractive indices and absorption coefficients.
Klíčová slova

Zpět

Patička