Přejít k obsahu


Deposition technology of periodically structured photonic materials with spatial-controlled crystallization of silicon.

Citace:
CALTA, P., ŠUTTA, P. Deposition technology of periodically structured photonic materials with spatial-controlled crystallization of silicon.. 2014.
Druh: POLOPROVOZ, TECHNOLOGIE, ODRŮDA, PLEMENO
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Deposition technology of periodically structured photonic materials with spatial-controlled crystallization of silicon.
Rok vydání: 2014
Název zdroje: Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Ing. Pavel Calta Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Byla vyvinuta technologie depozice ultratenkých absorpčních vrstev s křemíkovými nano-krystaly vertikálně oddělenými dielektrickou vrstvou SiO2, anebo Si3N4 pro fotonické aplikace. Fotonické vlastnosti materiálů se projevují zejména tehdy, když je materiál anizotropní anebo nehomogenní z hlediska relativní permitivity. Platí to i pro opticky homogenní materiál, jež hraničí s prostředím, jehož index lomu je jiný. Kromě multi-vrstevních struktur s materiály o různém indexu lomu, mají výrazné fotonické vlastnosti i materiály jako mikrokrystalický křemík, který se skládá z amorfní a krystalické fáze a mikro-dutin v různém objemovém poměru (každá z uvedených fází má jiný index lomu).
Abstrakt EN: Deposition technology of multi-layered absorption films with silicon nano-crystals vertically separated by SiO2 or Si3N4 dielectric layers for photonic applications has been developed. Photonic properties of materials occur when material is anisotropic or inhomogeneous from relative permitivity point of view. That goes also for an inhomogeneous optical material bordering with a material having different refractive index. Apart from the multi-layered structures having materials with different refractive index, a micro-crystalline silicon containing with various volume content of amorphous and crystalline phases and micro-voids, has also distinctive photonic properties (every phase mentioned above has different refractive index).
Klíčová slova

Zpět

Patička