Přejít k obsahu


Dispersive and BEMA investigation on optical properties of photovoltaic thin films

Citace:
MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P., PRUŠÁKOVÁ, L., NETRVALOVÁ, M. Dispersive and BEMA investigation on optical properties of photovoltaic thin films. In Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. Bellingham: SPIE, 2014. s. \´94411J-1\´-\´94411J-7\´. ISBN: 978-1-62841-556-8 , ISSN: 0277-786X
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Dispersive and BEMA investigation on optical properties of photovoltaic thin films
Rok vydání: 2014
Místo konání: Bellingham
Název zdroje: SPIE
Autoři: Jarmila Müllerová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Lucie Prušáková Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová Ph.D.
Abstrakt CZ: Článek vykazuje výsledky získané z optické spektrometrie doplněné daty z FTIR, Ramanovy spektroskopie a XRD měření k charakterizaci tenkých vrstev hydrogenizovaného křemíku (Si:H) deponovaného PECVD depozicí z argonem zředěným silanem s vodíkem. Disperzní optické vlastnosti a mikrostruktura je určována jako funkce vodíkového zředění, které vede k výsledku nehomogenního růstu během kterého se materiál vyvíjí z amorfního Si:H k mikrokrystalickému Si:H.
Abstrakt EN: The paper reports results obtained from optical spectrophotometry complemented with data from FTIR, Raman scattering and XRD measurements to characterize hydrogenated silicon (Si:H) thin films deposited by PECVD deposition from silane ? argon plasma diluted with hydrogen. The dispersive optical properties and microstructure have been determined as a function of the hydrogen dilution which has been found to result in an inhomogeneous growth during which the material evolves from amorphous Si:H to microcrystalline Si:H.
Klíčová slova

Zpět

Patička