Přejít k obsahu


Physical and mechanical properties of Ti/Al multilayer heat releasing coatings

Citace:
MUSIL, J., STUPKA, P., ZUZJAKOVÁ, Š., ČERSTVÝ, R. Physical and mechanical properties of Ti/Al multilayer heat releasing coatings. International Journal of Nanomanufacturing, 2015, roč. 11, č. 1-2, s. 78-93. ISSN: 1746-9392
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Physical and mechanical properties of Ti/Al multilayer heat releasing coatings
Rok vydání: 2015
Autoři: Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Petr Stupka , Ing. Šárka Zuzjaková , Ing. Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Tato práce pojednává o fyzikálních a mechanických vlastnostech naprašovaných multivrstev Ti/Al uvolňujících teplo při žíhání, jež mají tloušťku dvojvrstvy Lambda od 2 do 172 nm. Je zkoumána teplota Thr, při které dochází k uvolnění tepla následkem reakce mezi atomy Ti a Al. Bylo zjištěno, že: 1) Thr a) klesá od ~420 do 390 °C pro vrstvy s Lambda klesající od 172 do 17 nm; b) se pohybuje v rozmezí ~480 až ~600 °C pro vrstvy s Lambda ? 12 nm; 2) teplo DeltaH(Ti/Al) uvolněné při reakci narůstá od 5 do 35 kJ/mol se zvyšující se hodnotou Lambda. Dále je ukázáno, že: 1) teplo lze uvolnit i jedním tepelným pulsem při rychlém ohřevu na teplotu 600 °C rychlostí 100 °C/s; 2) uvolněné teplo způsobuje silnou interakci multivrstvy Ti/Al s Si substrátem. Dále jsou uvedeny mechanické vlastnosti deponovaných multivrstev Ti/Al.
Abstrakt EN: The paper reports on physical and mechanical properties of sputtered Ti/Al multilayer coatings with a bilayer thickness Lambda ranging from 2 to 172 nm releasing heat during annealing. The temperature Thr at which the heat is released during reaction between Al and Ti atoms is investigated. It was found that: 1) Thr: a) decreases from ~420 to 390 °C for the coatings with Lambda decreasing from 172 to 17 nm; b) ranges from ~480 to ~600 °C for the coatings with Lambda ? 12 nm; 2) the heat DeltaH(Ti/Al) evolved in the reaction increases from 5 to 35 kJ/mol with increasing Lambda. Besides, it is shown that: 1) the heat can be released also during one pulse of the rapid thermal annealing up to 600 °C with heating rate 100 °C/s; 2) the released heat results in a strong interaction of the Ti/Al multilayer coating with Si substrate. The mechanical properties of the as-deposited Ti/Al multilayer coatings are also given.
Klíčová slova

Zpět

Patička