Přejít k obsahu


Reactive HIPIMS pulse optimization strategies in fabrication of all-dielectric optical coatings

Citace:
HÁLA, M., ČAPEK, J., VERNHES, R., ZABEIDA, O., KLEMBERG-SAPIEHA, J., MARTINŮ, L. Reactive HIPIMS pulse optimization strategies in fabrication of all-dielectric optical coatings. Braunschweig, Německo, 2015.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Reactive HIPIMS pulse optimization strategies in fabrication of all-dielectric optical coatings
Rok vydání: 2015
Autoři: Matěj Hála , Ing. Jiří Čapek Ph.D. , Richard Vernhes , Oleg Zabeida , Jolanta Klemberg-Sapieha , Ludvík Martinů
Abstrakt CZ: Bylo ukázáno, že vysokovýkonové pulzní naprašování (HIPIMS) je vhodné pro přípravu optických vrstev, které vykazují výborné optické a mechanické vlastnosti. Reaktivní HIPIMS je však náchylný k výskytu oblouků během depozice, které brání dalšímu rozšíření této techniky. V tomto příspěvku popisujeme různé strategie jak tento nežádoucí jev potlačit: (i) regulace magnetického pole magnetronu, (ii) použití specifického tvaru pulsu a (iii) použití vysokofrekvenčních napěťových pulzů uvnitř vysokovýkonového pulzu. Použití jedné nebo více těchto strategií vede k potlačení oblouků během reaktivní depozice. Tento přístup je demonstrován na příkladu terčového materiálu z Nb, Ta a i dokonce Si (50 a 100 mm průměr terče).
Abstrakt EN: The HIPIMS approach has been documented to be suitable for the fabrication of high quality optical coatings exhibiting excellent optical and mechanical properties. However, reactive HIPIMS discharges are prone to several issues that hampers its general acceptance and deployment on the industrial scale. In the present work we investigate three strategies for arc elimination in reactive HIPIMS: (i) the magnetron magnetic field strength control, (ii) the use of specific pulse configuration, and finally, (iii) the superimposition of high-frequency voltage ripples to HIPIMS impulses. Employing some or all of these pulse management strategies allows one to obtain arc-free reactive HIPIMS discharges, as demonstrated for Nb, Ta, and even Si targets (50 and 100 mm in diameter).
Klíčová slova

Zpět

Patička