Přejít k obsahu


Tantalum oxynitride films with smoothly tunable composition, electronic structure and properties

Citace:
HOUŠKA, J., VLČEK, J., REZEK, J., ČERSTVÝ, R. Tantalum oxynitride films with smoothly tunable composition, electronic structure and properties. Braga, Portugalsko, 2015.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Tantalum oxynitride films with smoothly tunable composition, electronic structure and properties
Rok vydání: 2015
Autoři: Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D. , Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc. , Ing. Jiří Rezek Ph.D. , Ing. Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Příspěvek se zabývá tenkými vrstvami materiálů Ta-O-N připravených vysokovýkonovým pulzním magnetronovým naprašováním Ta terče v plynných směsích Ar+O2+N2. Diskutované otázky budou následující: (i) jak připravit materiály s plynule laditelným prvkovým složením v celém rozsahu od oxidů k nitridům (i přes mnohem vyšší reaktivitu O2 v porovnání s N2), (ii) jak připravit všechny materiály, i ty bohaté na O, vysokou depoziční rychlostí (tj. vyhnout se otrávení terče) a (iii) jaké jsou vztahy mezi prvkovým složením, strukturou a vlastnostmi vrstev. Například optický zakázaný pás byl kontrolován od 4 eV (Ta28O71) přes např. 2.5 eV (Ta27O40N31; možný kandidát pro katalýzu využívající viditelného světla) k nule (materiály bohaté na N).
Abstrakt EN: This contribution deals with Ta-O-N thin films prepared by high-power impulse magnetron sputtering of Ta target in Ar+O2+N2 gas mixtures. The following questions will be discussed: (i) how to prepare the films with elemental compositions smoothly tuned in the full range from oxides to nitrides (despite the significantly higher reactivity of O2 than that of N2), (ii) how to prepare all films, including the O-rich ones, at high deposition rates (avoiding target poisoning) and (iii) what are the relationships between the elemental composition and the structure and properties of the films. For example, the optical band gap was controlled from 4 eV (Ta28O71) through e.g. 2.5 eV (Ta27O40N31; potential candidate for visible-light driven photocatalysis) to zero (N-rich materials).
Klíčová slova

Zpět

Patička