Přejít k obsahu


Nanocolumnar growth of sputtered ZnO thin films

Citace:
SZABÓ, O., KOVÁČOVÁ, S., TVAROŽEK, V., NOVOTNÝ, I., ŠUTTA, P., NETRVALOVÁ, M., ROSSBERG, D., SCHAAF, P. Nanocolumnar growth of sputtered ZnO thin films. Thin Solid Films, 2015, roč. 591, č. 30. září 2015, s. 230-236. ISSN: 0040-6090
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Nanocolumnar growth of sputtered ZnO thin films
Rok vydání: 2015
Autoři: O. Szabó , S. Kováčová , V. Tvarožek , I. Novotný , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , D. Rossberg , P. Schaaf
Abstrakt CZ: Sekvenční naprašovací technologie je vyvíjena pro vytváření propustných a vodivých velmi tenkých vrstev hliníkem dopovaného ZnO (AZO) s nanosloupcovou polykrystalickou strukturou. Byla provedena charakterizace jejich vlastností, včetně struktury (skenovací elektronová mikroskopie, rentgenová difrakce), elektrických vlastností (Hallova měření) a optických vlastností (viditelná spektrometrie, elipsometrie).
Abstrakt EN: Sequential sputtering technology was developed for the formation of transparent and conductive very thin films of ZnO doped by Al (AZO) with a nanocolumnar polycrystalline structure. The characterization of their properties, including structural (scanning electron microscopy, X-ray diffractometry), electrical (Hall measurements) and optical (visible spectrometry, ellipsometry), was performed. AZO thin films with thicknesses of approximately 100 nm were prepared with a pronounced nanocolumnar and (002) textured crystalline structure, sufficient low resistivity (? 10? 1 ? cm), satisfactory optical transparency (? 90%) and adequate refractive index (? 2.0) for future applications in biochemical sensors.
Klíčová slova

Zpět

Patička