Přejít k obsahu


A Model of Reactive HiPIMS Applied to Bipolar Dual Magnetron HiPIMS Deposition of Oxides and Nitrides of Ti

Citace:
ČAPEK, J., KADLEC, S. A Model of Reactive HiPIMS Applied to Bipolar Dual Magnetron HiPIMS Deposition of Oxides and Nitrides of Ti. Paříž, Francie, 2015.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: A Model of Reactive HiPIMS Applied to Bipolar Dual Magnetron HiPIMS Deposition of Oxides and Nitrides of Ti
Rok vydání: 2015
Autoři: Ing. Jiří Čapek Ph.D. , Stanislav Kadlec
Abstrakt CZ: V této práci se zaměřujeme na efekt mizejicího hysterezního chování v případě reaktivního vysokovýkonového pulzního výboje (HiPIMS). Oxidové a nitridové vrstvy titanu byly připraveny za použití reaktivního bipolárního pulzního naprašování ze dvou kruhových magnetronů (průměr 2?) za různých výbojových podmínek (od výboje středních frekvencí až po HiPIMS podmínky) při konstantním průměrném výkonu výboje 300 W. Při plynulé změně pulzovacích podmínek ze středních frekvencí do HiPIMS bylo pozorováno mizení hysterezního chování. Nejdůležitějším efektem, který vysvětluje naměřená experimentální data, je pokrývání zreagovaných částí terče navrácenými ionty terčového materiálu. Tento efekt vede k efektivnímu snížení pokrytí terče reakčním produktem při daném parciálním tlaku.
Abstrakt EN: In this work, we are focusing on the tendency to disappeared hysteresis in reactive HiPIMS. Oxide and nitride films of titanium have been deposited by reactive bipolar pulsed sputtering from pair of 2-inch round magnetrons at various discharge conditions (from mid-frequency to HiPIMS conditions) at total average power of 300 W. When the pulsing conditions have been gradually changed from mid-frequency operation to HiPIMS narrower or even disappearing jumps in pressure and voltage have been observed with HiPIMS. The most important effect explaining the experimental data is covering of reacted parts of target by the returning ionized metal, effectively lowering the target coverage by reaction product at a given partial pressure.
Klíčová slova

Zpět

Patička