Přejít k obsahu


The Origin of the Suppressed Hysteresis in HiPIMS: Experiment and Model

Citace:
ČAPEK, J., KADLEC, S. The Origin of the Suppressed Hysteresis in HiPIMS: Experiment and Model. San Diego, USA, 2016.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: The Origin of the Suppressed Hysteresis in HiPIMS: Experiment and Model
Rok vydání: 2016
Autoři: Ing. Jiří Čapek Ph.D. , Stanislav Kadlec
Abstrakt CZ: V této práci se zaměřujeme na efekt mizejícího hysterezního chování v případě reaktivního vysokovýkonového pulzního výboje (HiPIMS). Oxidové a nitridové vrstvy titanu byly připraveny za použití reaktivního bipolárního pulzního naprašování ze dvou kruhových magnetronů (průměr 2?) za různých výbojových podmínek (od výboje středních frekvencí až po HiPIMS podmínky) při konstantním průměrném výkonu výboje 300 W. Při plynulé změně pulzovacích podmínek od středních frekvencí po HiPIMS podmínky bylo pozorováno mizení hysterezního chování. Nejdůležitějším efektem, který vysvětluje naměřená experimentální data, je pokrývání zreagovaných částí terče navrácenými ionty terčového materiálu. Tento efekt vede k efektivnímu snížení pokrytí terče reakčním produktem při daném parciálním tlaku.
Abstrakt EN: In this work, we are focusing on the tendency to disappeared hysteresis in reactive HIPIMS. Oxide and nitride films of titanium have been deposited by reactive bipolar pulsed sputtering from pair of 2-inch round magnetrons at various discharge conditions (from mid-frequency to HiPIMS conditions) at total average power of 300 W. When the pulsing conditions have been gradually changed from mid-frequency operation to HIPIMS narrower or even disappearing jumps in pressure and voltage have been observed with HIPIMS. The most important effect explaining the experimental data is covering of reacted parts of target by the returning ionized metal, effectively lowering the target coverage by reaction product at a given partial pressure.
Klíčová slova

Zpět

Patička