Přejít k obsahu


Amorphous Zr–Cu thin-film alloys prepared by magnetron co-sputtering

Citace:
ZÍTEK, M., ZEMAN, P., ZUZJAKOVÁ, Š., HAVIAR, S., REZEK, J. Amorphous Zr?Cu thin-film alloys prepared by magnetron co-sputtering. Plzeň, 2016.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Amorphous Zr?Cu thin-film alloys prepared by magnetron co-sputtering
Rok vydání: 2016
Autoři: Ing. Michal Zítek , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Šárka Zuzjaková Ph.D. , RNDr. Stanislav Haviar Ph.D. , Ing. Jiří Rezek Ph.D.
Abstrakt CZ: Tato práce se zaměřuje na amorfní tenké vrstvy Zr?Cu připravené magnetronovým naprašováním ze Zr a Cu terče v Ar. Magnetron osazený Zr terčem byl napájen dc zdrojem, zatímco magnetron osazený Cu terčem vysokovýkonovým pulzním dc zdrojem. Obsah Zr a Cu ve vrstvách byl řízen dc výkonem na Zr terči a průměrným výkonem v periodě na Cu terči. Byl zkoumán široký rozsah složení od 9 do 83 at. % Cu. Bylo zjištěno, že vrstvy s obsahem Cu v rozmezí přibližně od 20 do 83 at. % Cu jsou X-ray amorfní. Tepelné chování tenkých vrstev Zr?Cu bylo zkoumáno diferenciální skenovací kalorimetrií, přičemž bylo zjištěno, že pouze vrstvy s obsahem Cu od 30 do 65 at. % vykazují skelný přechod. Teplotní rozsah oblasti přechlazené kapaliny se pohybuje v rozmezí od 28 do 44 °C. X-ray amorfní tenké vrstvy vykazují nízkou drsnost kolem 1 nm a jsou hydrofobní (>100°).
Abstrakt EN: This work focuses on investigation of amorphous Zr?Cu thin films prepared by magnetron co-sputtering of pure Zr and Cu targets in the Ar gas. The magnetron equipped with the Zr target was driven by a dc power supply while the magnetron equipped with the Cu target by a high-power pulsed dc power supply. The Zr and Cu contents in the films were adjusted by the dc target power and the average target power in a period, respectively. Wide range of compositions from 9 to 83 at.% of Cu was investigated. It was found that the films with the Cu content ranging from approximately 20 to 83 at.% are X-ray amorphous. The thermal behavior of the Zr?Cu thin films was characterized by differential scanning calorimetry and it was found that only the films with the Cu content from 30 to 65 at.% possess the glass transition. The temperature range of the super-cooled region varies from 28 to 44 °C. The films with X-ray amorphous structure exhibit low roughness around 1 nm and are hydrophobic (>100°).
Klíčová slova

Zpět

Patička