Přejít k obsahu


Thermal stability of structure and properties of ternary Zr-Ta-O films with low and high tantalum content

Citace:
ZUZJAKOVÁ, Š., ZEMAN, P., REZEK, J., VLČEK, J., ČERSTVÝ, R., HAVIAR, S. Thermal stability of structure and properties of ternary Zr-Ta-O films with low and high tantalum content. Garmisch-Partenkirchen, Německo, 2016.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thermal stability of structure and properties of ternary Zr-Ta-O films with low and high tantalum content
Rok vydání: 2016
Autoři: Ing. Šárka Zuzjaková Ph.D. , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Jiří Rezek Ph.D. , Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc. , Ing. Radomír Čerstvý , RNDr. Stanislav Haviar Ph.D.
Abstrakt CZ: Tato studie je zaměřena na vyšetřování teplotní stability struktury a vlastností ternárních vrstev Zr-Ta-O s nízkým a vysokým obsahem tantalu. Teplotní stabilita struktury, mikrostruktury, mechanických a optických vlastností vrstev byla vyšetřována ve vzduchu v teplotním rozsahu 700?1300 °C. Bylo zjištěno, že ternární vrstvy Zr-Ta-O vykazují zlepšenou teplotní stabilitu nadeponované struktury a zlepšené vlastnosti než odpovídající binární oxidy. Struktura vrstvy Zr25Ta5O70 odpovídá tuhému roztoku TaZr2,75O8. Tento tuhý roztok je stabilní až do maximální vyšetřované teploty (1300 °C) a vrstva vykazuje vysokou tvrdost 19 GPa i po ohřevu na 1000 °C ve vzduchu. Teplotní stabilita amorfní vrstvy Zr5Ta25O70 dosahuje 800 °C. Při vyšších teplotách dochází ke krystalizaci.
Abstrakt EN: The present study focuses on investigation of the thermal stability of the structure and properties of ternary Zr-Ta-O films with a low and high tantalum content. The thermal stability of the structure, microstructure, mechanical and optical properties of the films was investigated in air in the temperature range of 700?1300 °C. It was found that the ternary Zr-Ta-O films investigated exhibit an enhanced thermal stability of the as-deposited structure and enhanced properties than the corresponding binary oxides. The Zr25Ta5O70 film is a single-phase material with the nanocrystalline solid solution structure corresponding to TaZr2.75O8. This solid solution is stable up to a maximum temperature investigated (1300 °C) and the film retains a high hardness of 19 GPa even after the annealing to 1000 °C in air. The Zr5Ta25O70 film exhibits an amorphous structure in the as-deposited state with its thermal stability up to 800 °C. At higher temperatures a crystallization of the film occurs.
Klíčová slova

Zpět

Patička