Přejít k obsahu


Comparison of evaluating methods of thin films nanohardness

Citace: [] HÁJKOVÁ, P., LOUDA, P., ŠPATENKA, P., KOLOUCH, A., BLÁHOVÁ, O., BURŠÍKOVÁ, V. Comparison of evaluating methods of thin films nanohardness. Czechoslovak Journal of Physics, 2006, roč. 56, s. B1162-B1168. ISSN: 0011-4626
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Comparison of evaluating methods of thin films nanohardness
Rok vydání: 2006
Autoři: Pavlína Hájková , P. Louda , P. Špatenka , Aleš Kolouch , Olga Bláhová , Vilma Buršíková
Abstrakt CZ: Cílem této práce je srovnání různých měřících metod pro stanovení nanotvrdost tenkých vrstev. První metodou je Vickersova metoda a druhou Berkovichova. Měření byla prováděna na Fischerscopu H100 a Nanoindentoru XP (MTS).
Abstrakt EN: The aim of this investigation is comperison of different nanohardness measurement methods of thin film. The first method investigated is Vickers indentation and the second one Berkovich indentation. The measurements were carried out on Fischerscop H100 and Nanoindenter XP (MTS) devices.
Klíčová slova

Zpět

Patička