Přejít k obsahu


Metodika na měření rezistivity tenkých vrstev čtyř-bodovou metodou

Citace: [] ŠUTTA, P. Metodika na měření rezistivity tenkých vrstev čtyř-bodovou metodou. 2007.
Druh: Zaniklé typy
Jazyk publikace: cze
Anglický název: The method for measurement of resistivity of thin films by a four-probe method.
Rok vydání: 2007
Název zdroje: Nové technologie - Výzkumné centrum v západočeském regionu, Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Pracoviště na měření nízkých rezistivit polovodičů čtyř-bodovou metodou s lineárním a kvadratickým hrotem je zapojeno na počítač se sběrem a zpracováním dat a programem na ovládání měření. Na pracovišti lze měřit jak velké, tak malé rozměry vzorků, objemové i tenké vrstvy zadáním vypočtených korekčních faktorů na velikost a tvar vzorku.
Abstrakt EN: Equipment for measurement of low resistivity using four-probe method with linear and quadratic electrode tips order is connected to computer making possible a data collection and data acquisition and software for measurement control. The equipment makes possible to measure small as well as large samples, bulk samples and thin films giving calculated correction factor taking into account dimension and shape of the samples.
Klíčová slova

Zpět

Patička