Přejít k obsahu


Metodika rtg strukturní analýzy tenkých vrstev a jejich rozhraní

Citace: [] ŠUTTA, P. Metodika rtg strukturní analýzy tenkých vrstev a jejich rozhraní. 2007.
Druh: Zaniklé typy
Jazyk publikace: cze
Anglický název: The method of XRD analysis of thin films and their interfaces
Rok vydání: 2007
Název zdroje: Nové technologie - Výzkumné centrum v západočeském regionu, Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Byla vypracována metodika rtg strukturní analýzy tenkých vrstev a jejich rozhraní použitím dvou různých přístupů k experimentu. Zjišťuje se reálná struktura tenkých vrstev amorfního hydrogenizovaného křemíku a oxidu zinečnatého dotovaného hliníkem. Výsledkem rtg strukturní analýzy jsou informace o fázovém složení vrstev, velikosti krystalitů a jejich přednostní orientaci, mikro- a makro- deformace a napětí.
Abstrakt EN: A method for XRD analysis of thin films and interfaces using two different experimental approaches has been worked up. The real structure of thin films of amorphous hydrogenated silicon and aluminium doped zinc oxide are investigated. The results of XRD analysis are information about phase composition, crystallite size and their preferred orientation, micro- and macro- strain and stress.
Klíčová slova

Zpět

Patička