Přejít k obsahu


Software na měření rezistivity tenkých vrstev čtyř-bodovou metodou.

Citace: [] VAVRINSKÝ, E., ŠUTTA, P. Software na měření rezistivity tenkých vrstev čtyř-bodovou metodou.. 2007.
Druh: Zaniklé typy
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Software for measurement of electric resistivity of thin films by a four-probe method
Rok vydání: 2007
Název zdroje: Nové technologie - Výzkumné centrum v západočeském regionu, Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Erik Vavrinský , Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Program umožňuje měření nízkých hodnot rezistivity tenkých vrstev polovodičů čtyř-bodovou metodou s lineárním a kvadratickým uspořádáním měřících kontaktů. Součástí programu je i výpočet korekčních faktorů na velikost a tvar vzorků.
Abstrakt EN: The software makes possible the measurement of low electric resistivities of semiconductors by using a four-probe method with linear and quadratic ordering of electrode tips. Software contains also calculation of correction factors taking into consideration dimension and shape of the samples.
Klíčová slova

Zpět

Patička