Přejít k obsahu


Cryogenic pulsed laser deposition of ZnO

Citace: [] BRUNCKO, J., VINCZE, A., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P., MICHALKA, M., UHEREK, F. Cryogenic pulsed laser deposition of ZnO. Vacuum, 2012, roč. 86, č. 6, s. 684-688. ISSN: 0042-207X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Cryogenic pulsed laser deposition of ZnO
Rok vydání: 2012
Autoři: Jaroslav Bruncko , Andrej Vincze , Ing. Marie Netrvalová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Miroslav Michalka , František Uherek
Abstrakt CZ: Článek se zabývá pulzní laserovou depoziční technologií, kdy v tomto speciálním případě je substrát chlazen na kryogenní teploty tekutým dusíkem během depozičního procesu. Tento přístup je vhodný pro růst vysoce neuspořádaných struktur s novými fyzikálními vlastnostmi. Oxid zinečnatý byl použit jako experimentální příklad. Vrstvy byly deponovány na různé podklady: Si (100) a safír (0001) a následně byly žíhané při různých teplotách (200-800 °C). Jejich vlastnosti byly zkoumány různými analytickými metodami. Rentgenová difrakce (XRD) ukázala zcela amorfní strukturu jako nadeponovaných vrstev ZnO, které byly chlazeny během procesu depozice. Žíhání těchto amorfních vrstev změnilo vlastnosti v závislosti na teplotní hladině a času žíhání. XRD a rastrovací elektronový mikroskop (SEM) odhalil rekrystalovanou strukturu.
Abstrakt EN: The paper deals with the pulsed laser deposition technology and in this special case the substrate was cooled at cryogenic temperature by liquid nitrogen during the deposition process. This approach is proper for growth of highly disordered structures with new physical properties and zinc oxide was applied as experimental example for demonstration. Films were deposited on different substrates: Si (100) and sapphire (0001) and subsequently annealed at different temperatures (200?800 °C). Their properties were investigated by various analytical methods. X-ray diffraction (XRD) proved fully amorphous structure of as-grown ZnO layers which were cooled during the deposition process. Annealing of these amorphous layers changed their properties according to temperature level and annealing time. XRD and scanning electron microscopy (SEM) revealed recrystallized structure.
Klíčová slova

Zpět

Patička