Přejít k obsahu


Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH4 gas

Citace: [] KULIKOVSKY, V., VORLICEK, V., CTVRTLIK, R., BOHAC, P., SUCHANEK, J., BLÁHOVÁ, O., JASTRABIK, L. Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH4 gas. Surface and Coatings Technology, 2011, roč. 205, č. 11, s. 3372-3377. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH4 gas
Rok vydání: 2011
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: V. Kulikovsky , V. Vorlicek , R. Ctvrtlik , P. Bohac , J. Suchanek , Doc. Ing. Olga Bláhová Ph.D. , L. Jastrabik
Abstrakt CZ: V této práci jsou hodnoceny amorfní hydrogenizovanané křemíko-uhlíkové vrstvy (a-SiC:H) s různým poměrem C/Si deponované při pokojové teplotě pomocí DC magnetronového naprašování dvěma způsoby:(i)nástřik z křemíkového terče; (ii) nástřik z terče SiC v atmosféře Ar a CH4. Byly optimalizány mechanické a tribologické vlastnosti těchto filmů.
Abstrakt EN: In the present work the amorphous hydrogenated silicon-carbide (a-SiC:H) films with different C/Si ratio were prepared at room temperature using DC magnetron sputtering in two ways: (i) sputtering of silicon target; (ii) sputtering of SiC target, both in the gas mixture of Ar and CH4. The mechanical and tribological properties of there films were studied to find their optimum combination.
Klíčová slova

Zpět

Patička