Přejít k obsahu


Properties of nanocrystalline Al–Cu–O films reactively sputtered by DC pulse dual magnetron

Citace: [] BLAŽEK, J., MUSIL, J., STUPKA, P., ČERSTVÝ, R., HOUŠKA, J. Properties of nanocrystalline Al?Cu?O films reactively sputtered by DC pulse dual magnetron. APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, roč. 2011, č. 258, s. 1762-1767. ISSN: 0169-4332
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Properties of nanocrystalline Al?Cu?O films reactively sputtered by DC pulse dual magnetron
Rok vydání: 2011
Autoři: Ing. Jakub Blažek , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Petr Stupka , Ing. Radomír Čerstvý , Ing. Jiří Houška Ph.D. ,
Abstrakt CZ: Článek se zabývá vlivem přidávání Cu do vrstev Al2O3 na jejich mechanické a optické vlastnosti. Vrstvy Al-Cu-O byly připraveny metodou reaktivního naprašování s využitím pulzního DC duálního magnetronu ve směsi argonu a kyslíku. Koncentrace Al a Cu ve vrstvách byla řízena délkou pulzu na skládaném Al/Cu terči. Struktura vrstev s rostoucí koncentrací Cu přechází z Al2O3 přes nanokrystalický tuhý roztok do spinelové struktury CuAl2O4. Vrstvy vykazují (i) poměrně vysokou tvrdost (ii) zvýšenou elastickou vratnost (iii) nízký efektivní Youngův modul a (iv) zvýšenou odolnost vůči vzniku trhlin, kterou prokázal indentační test s využitím vysoké zátěže.
Abstrakt EN: The article reports on the effect of the addition of Cu in the Al2O3 film on its mechanical and optical properties. The Al?Cu?O films were reactively co-sputtered using DC pulse dual magnetron in a mixture of argon and oxygen. The amount of Al and Cu in the Al?Cu?O film was controlled by the length of pulse at the Al/Cu target. It is shown that the structure of Al?Cu?O film gradually varies with increasing Cu content from Al2O3 through Al-Cu-O nanocrystalline solid solution to CuAl2O4 spinel structure. The Al?Cu?O films exhibit (i) relatively high hardness (ii) enhanced elastic recovery (iii) low values of Young?s modulus and (iv) enhanced resistance to cracking during indentation under high load.
Klíčová slova

Zpět

Patička