Přejít k obsahu


Influence of deposition conditions of ZnO thin films on their photonic properties

Citace: [] NETRVALOVÁ, M., PRUŠÁKOVÁ, L., NOVÁK, P., ŠUTTA, P. Influence of deposition conditions of ZnO thin films on their photonic properties. In Proceedings of SPIE. Bellingham: SPIE, 2011. s. 1-6. ISBN: 978-0-8194-8953-1 , ISSN: 0277-786X
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Influence of deposition conditions of ZnO thin films on their photonic properties
Rok vydání: 2011
Místo konání: Bellingham
Název zdroje: SPIE
Autoři: Ing. Marie Netrvalová , Ing. Lucie Prušáková , Ing. Petr Novák , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: V tomto přízpěvku je prezentován efekt depozičních podmínek (obzvláště laterální pozice proti terči během depozice a depoziční teplota) na optické vlastnosti a strukturu tenkých vrstev ZnO. XRD analýza ukázala, že všechny vrstvy jsou polykrystalické s hexagonální strukturou a přednostní orientací ve směru [001] kolmém na povrch substrátu. Depoziční podmínky nemají příliš velký vliv na mikrostrukturní vlastnosti (velikost krystalitů a mikrodeformace). Velikosti krystalitů jsou ve výsledku řádově v desítkách nanometrů a mikrodeformace okolo 10-2. Tloušťky vrstev získané z transmitančních spekter ukazují snížení více než 2x se zvyšující se laterální vzdáleností vzorků od terče. Rozptyl spektrálně závislého indexu lomu byl pozorován v závislosti na pozici vzorků v depoziční komoře.
Abstrakt EN: The effects of deposition conditions (especially lateral position against target during deposition and deposition temperature) on optical properties and structure are presented. The X-ray diffraction (XRD) analysis showed that all the films were polycrystalline with hexagonal structure and preferred orientation in [001] direction perpendicular to the substrate surface. Micro-structure properties as crystallite size and micro-strains were not too influenced by deposition conditions and values of crystallites were evaluated in tens of nanometers and micro-strains were about 10 -2 . Film thicknesses obtained from transmittance spectra decreased more than two times with increased lateral position of the samples against the target. Dispersion of the spectral refractive index was observed depending on the sample position in deposition chamber. Smaller dispersion was observed in series containing more redundant oxygen in their structure.
Klíčová slova

Zpět

Patička