Přejít k obsahu


Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution

Citace: [] VAVRUŇKOVÁ, V., SRNÁNEK, R., MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P. Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution . In Proceedings of the 14th international conference on Applied physics of condensed matter. Bratislava: Slovak University of Technology, 2008. s. 242-245. ISBN: 978-80-227-2902-4
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution
Rok vydání: 2008
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovak University of Technology
Autoři: Veronika Vavruňková , Rudolf Srnánek , Jarmila Müllerová , Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Polykrystalický a amorfní hydrogenizovaný křemík (a-Si:H)jsou významné materiály pro mikroelektroniku, optoelektroniku a fotovoltaiku. Tenké vrstvy připravené PECVD depozicí ze silanu zředěného vodíkem jsou charakteristické lepší odolností proti světlem indukované degradaci solárních článků na bázi a-Si:H. Parametry solárních článků významně závisí na elektrických a optických vlastnostech materiálů, které vyžadují určitou mikrostrukturu. Struktura tzv. protokrystalický křemík deponovaná při specifických podmínkách představuje vývoj od amorfní k mikrokrystalické fázi a obsahuje amorfní fázi s oblastmi uspořádanými na krátkou vzdálenost. V tomto článku je vyšetřován vliv zředění na mikrostrukturní vlastnosti. Pro tento účel byla použita rtg analýza, Ramanova spektroskopie a FTIR spektrometrie.
Abstrakt EN: Hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and polycrystalline hydrogenated silicon are significant materials for thin film microelectronics, optoelectronics and photovoltaics. Thin films prepared from silane diluted with hydrogen in PECVD are characterized by suppressed light-induced degradation of a-Si:H solar cells. Parameters of solar cells critically depend on electronic and optical properties of the material, which require certain microstructure. The structure (so called "protocrystalline silicon"), deposited in specific conditions presents evolvement from the amorphous to microcrystalline phase, and includes amorphous phase with the short-range order. In this paper, the influence of dilution on microstructural properties is investigated. For this purpose XRD analysis, Raman and FTIR spectrometry give valuable insights into the structural evolution of films.
Klíčová slova

Zpět

Patička