Přejít k obsahu


Effect of the Gas Mixture Composition on High-Temperature Behaviour of Magnetron Sputtered Si-B-C-N Coatings

Citace: [] ČAPEK, J., ZEMAN, P., CALTA, P., VLČEK, J., ČERSTVÝ, R. Effect of the Gas Mixture Composition on High-Temperature Behaviour of Magnetron Sputtered Si-B-C-N Coatings. In Abstracts. Dresden: European Society of Thin Films, 2008. s. 580-580.
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Effect of the Gas Mixture Composition on High-Temperature Behaviour of Magnetron Sputtered Si-B-C-N Coatings
Rok vydání: 2008
Místo konání: Dresden
Název zdroje: European Society of Thin Films
Autoři: Jiří Čapek , Petr Zeman , Pavel Calta , Jaroslav Vlček , Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Již naše dřívější výsledky naznačovaly, že složení plynné směsi má velký vliv na výsledné vlastnosti vrstvy. Z tohoto důvodu byly připraveny vrstvy Si-B-C-N na substráty Si, SiC a Cu metodou dc magnetronového rozprašování z terče B4C-Si v dusíko-argonové plynné směsi. Bylo zjištěno, že složení plynné směsi je velmi důležitý procesní parametr mající velký vliv na prvkové složení a následně na konečné vlastnosti vrstev Si-B-C-N. Vrstvy připravené s 50% argonovým podílem v plynné směsi vykazovaly extrémně vysokou oxidační odolnost do 1500 °C a zachování amorfního stavu dokonce do 1700 °C ve vzduchu. Žádné hmotnostní ani strukturní změny nebyly detekovány také analýzou TG a DSC do 1600 °C v inertní atmosféře.
Abstrakt EN: Our preliminary investigations has indicated a strong effect of the gas mixture composition on coating properties. From this reason, the Si-B-C-N coatings were deposited on Si, SiC and Cu substrates by dc magnetron co-sputtering using a single B4C-Si target in nitrogen-argon gas mixture. The gas mixture composition was found to be a very important process parameter having a great impact on the elemental composition and consequently on final properties of the Si-B-C-N coatings. The coatings sputtered at a 50 % Ar fraction in the gas mixture exhibited extremely high oxidation resistance up to 1500 °C and preservation of the amorphous state even up to 1700 °C in air. No mass or structural changes of the coatings were also detected by TG and DSC analyses up to 1600 °C in an inert gas.
Klíčová slova

Zpět

Patička