Přejít k obsahu


Thermal stability of magnetron sputtered Si-B-C-N materials at temperatures up to 1700°C

Citace: [] ZEMAN, P., ČAPEK, J., ČERSTVÝ, R., VLČEK, J. Thermal stability of magnetron sputtered Si-B-C-N materials at temperatures up to 1700°C. In Abstracts. Dresden: European Society of Thin Films, 2008. s. 591-591.
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thermal stability of magnetron sputtered Si-B-C-N materials at temperatures up to 1700°C
Rok vydání: 2008
Místo konání: Dresden
Název zdroje: European Society of Thin Films
Autoři: Petr Zeman , Jiří Čapek , Radomír Čerstvý , Jaroslav Vlček
Klíčová slova

Zpět

Patička