Přejít k obsahu


Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings

Citace: [] ČAPEK, J., HŘEBEN, S., ZEMAN, P., VLČEK, J., ČERSTVÝ, R., HOUŠKA, J. Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings. Surface and Coatings Technology, 2008, roč. 0, č. 203, s. 466-469. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings
Rok vydání: 2008
Místo konání: San Diego
Název zdroje: The 35th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Autoři: Jiří Čapek , Stanislav Hřeben , Petr Zeman , Jaroslav Vlček , Radomír Čerstvý , Jiří Houška
Abstrakt CZ: Práce se zabývá vyšetřováním vlivu složení plynné směsi na vysokoteplotní chování amorfních vrstev Si-B-C-N do teploty 1700 °C v proudícím vzduchu a inertních plynech. Vrstvy Si-B-C-N byly připraveny metodou magnetronového rozprašování z terče B4C-Si ve dvou dusíko-argonových plynných směsích (50% N2+50% Ar or 25% N2+75% Ar). Bylo zjištěno, že podíl argonu v plynné směsi určuje důležitý koncentrační poměr N/(Si+B+C) ve vrstvě a tím i vysokoteplotní chování této vrstvy. Vrstvy připravené s 50% argonovým podílem v plynné směsi vykazovaly extrémně vysokou oxidační odolnost do 1400 °C a velmi vysokou oxidační odolnost do teploty 1600 °C ve vzduchu a extrémně vysokou teplotní stabilitu do teploty 1600 °C v inertní atmosféře.
Abstrakt EN: The effect of the gas mixture composition on the high-temperature behavior of amorphous Si-B-C-N coatings was systematically investigated up to 1700 °C in a flowing air and inert gases. The Si-B-C-N coatings were deposited by reactive dc magnetron co-sputtering using a single B4C-Si target in two nitrogen-argon gas mixtures (50% N2+50% Ar or 25% N2+75% Ar). It was found that the Ar fraction in the gas mixture determines an important N/(Si+B+C) concentration ratio in the coatings, and hence their high-temperature behavior. The coating prepared with a 50% Ar fraction exhibits extremely high oxidation resistance up to 1400 °C and very high oxidation resistance up to 1600 °C in air, and extremely high thermal stability up to 1600 °C in inert gases.
Klíčová slova

Zpět

Patička