Přejít k obsahu


Hard amorphous Si-B-C-N coatings with ultra-high thermal stability

Citace: [] VLČEK, J., ČAPEK, J., ZEMAN, P., ČERSTVÝ, R. Hard amorphous Si-B-C-N coatings with ultra-high thermal stability. In Rusnanotech. Moskva: Rusnano, 2008. s. 220-221.
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Hard amorphous Si-B-C-N coatings with ultra-high thermal stability
Rok vydání: 2008
Místo konání: Moskva
Název zdroje: Rusnano
Autoři: Jaroslav Vlček , Jiří Čapek , Petr Zeman , Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Byly připraveny nové kvaternární vrstvy Si-B-C-N za použití dc magnetronového rozprašování křemíku, boru a uhlíku z terče C-Si-B nebo B4C-Si v dusíko-argonové atmosféře. Bylo zjištěno, že tyto vrstvy mají amorfní nanostrukturu, nízké tlakové pnutí a dobrou adhezi k substrátům. Dále tyto vrstvy vykazovaly vysokou tvrdost, vysokou optickou transparentnost a extrémně vysokou oxidační odolnost (do teploty 1400°C) a stabilitu amorfního stavu ve vzduchu.
Abstrakt EN: Novel quaternary Si-B-C-N coatings were fabricated using dc magnetron co-sputtering of silicon, boron and carbon from a single C-Si-B or B4C-Si target in nitrogen-argon mixtures.The coatings were found to be amorphous in nanostructure with a low compressive stress and good adhesion to substrates. They exhibited high hardness, high optical transparency and extremely high oxidation resistance (up to 1400°C) and stability of the amorphous state in air.
Klíčová slova

Zpět

Patička