Přejít k obsahu


Microstructure related optical characterization of technologically relevant hydrogenated silicon thin films

Citace: [] MÜLLEROVÁ, J., VAVRUŇKOVÁ, V., ŠUTTA, P., SRNÁNEK, R. Microstructure related optical characterization of technologically relevant hydrogenated silicon thin films. In Proceedings SPIE. S.l.: SPIE, 2008. s. 1-8. ISBN: 978-80-8070-709-5 , ISSN: 0277-786X
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Microstructure related optical characterization of technologically relevant hydrogenated silicon thin films
Rok vydání: 2008
Místo konání: S.l.
Název zdroje: SPIE
Autoři: Jarmila Müllerová , Veronika Vavruňková , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Rudolf Srnánek
Abstrakt CZ: V článku jsou uvedeny výsledky získané z UV-Vis měření a dále FTIR a Ramanova spektra ze sérií tenkých vrstev křemíku deponovaných ze silanu zředěného vodíkem pomocí plazmou podpořené depozice z plynné fáze (PECVD). Spektrální indexy lomu, extinkční koeficienty, optické šířky zakázaného pásu, obsah vodíku, mikrostrukturní faktor a velikosti zrn byly určeny jako funkce vodíkového zředění. Vodíkové ředění silanu vede k růstu nehomogenit během něhož se vyvíjí materiál z amorfního hydrogenizovaného křemíku (a-Si:H) na mikrokrystalický hydrogenovaný křemík (c-Si:H). S rostoucím zředěním Si:H vrstev začíná růst materiál s měnícím se objemem krystalické a amorfní fáze a dutin. Optické šířky zakázaného pásu byly stanoveny z transmitančních spekter. Velikosti zrn byly stanoveny z Ramanových spekter a příspěvek malých a velkých zrn byl zjištěn.
Abstrakt EN: We report results obtained from measurements of UV Vis, FTIR and Raman spectra carried out on a series of silicon thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen. Spectral refractive indices, extinction coefficients, optical band gap energies, hydrogen content, the microstructure factor, and grain size were determined as a function of the hydrogen dilution. Hydrogen dilution of silane results in an inhomogeneous growth during which the material evolves from amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) to microcrystalline hydrogenated silicon (c-Si:H). With increasing dilution Si:H films become mixed-phase materials with changing volume fractions of crystalline and amorphous phases and voids. The optical band gap energies were determined from transmittance spectra. The grain size was determined from Raman spectra and the contribution of small and large grains was detected.
Klíčová slova

Zpět

Patička