Přejít k obsahu


Výskum materiálov pre fotovoltaické články na tenkých vrstvách amorfného kremíku

Citace: [] ŠUTTA, P., ZEMAN, M., TVAROŽEK, V., NOVOTNÝ, I., BALLO, P., HARMATHA, L., FLICKYNGEROVÁ, S., VAVRUŇKOVÁ, V., NETRVALOVÁ, M., PRUŠÁKOVÁ, L., GAŠPIERIK, P., PULLMANNOVÁ, A., VAVRINSKÝ, E. Výskum materiálov pre fotovoltaické články na tenkých vrstvách amorfného kremíku. In Sborník příspěvků ze 3. České fotovoltaické konference. Rožnov pod Radhoštěm: Czech RE Agency, 2008. s. 90-95. ISBN: 978-80-254-3528-1
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: sla
Anglický název: Research of materials for photovoltaic solar cells on amorphous silicon thin films
Rok vydání: 2008
Místo konání: Rožnov pod Radhoštěm
Název zdroje: Czech RE Agency
Autoři: Pavol Šutta , Miro Zeman , Vladimír Tvarožek , Ivan Novotný , Peter Ballo , Ladislav Harmatha , Soňa Flickyngerová , Veronika Vavruňková , Marie Netrvalová , Lucie Prušáková , Pavol Gašpierik , Andrea Pullmannová , Erik Vavrinský
Abstrakt CZ: Práce pojednává o struktuře, optických a elektrických vlastnostech vrstev oxidu zinečnatého dotovaného hliníkem připravených magnetronovým a diodovým naprašováním a amorfního křemíku připraveného technologií PECVD s různým zředěním silanu vodíkem. Některé vrstvy ZnO:Al byly následně žíhané a leptané ionovým svazkem. Sledoval se především krystalický stav vrstev (amorfní a polykrystalická fáze), velikost a přednostní orientace krystalitů, mřížkové a lokální deformace, stav povrchu, transmitance, šířka optického zakázaného pásu, index lomu, rezistivita a u a-Si:H navíc i odolnost vrstev vůči záření.
Abstrakt EN: The work deals with the structure, optical and electrical properties of aluminium doped zinc oxide films prepared by magnetron and diode sputtering and amorphous silicon prepared by PECVD technology with different hydrogen dilution of silane. Several films of ZnO:Al were annealed and ion beam etched. We investigated particularly crystalline state films (amorphous and polycrystalline phase), the size and preferential orientation of crystallite, lattice and local deformation, state surface, transmittance, band gap, refractive index, resistivity and a-Si:H films of resistance in addition to radiation.
Klíčová slova

Zpět

Patička