Přejít k obsahu


Modification of AZO thin film properties by annealing and ion etching

Citace: [] FLICKYNGEROVÁ, S., NETRVALOVÁ, M., PRUŠÁKOVÁ, L., NOVOTNÝ, I., ŠUTTA, P., TVAROŽEK, V. Modification of AZO thin film properties by annealing and ion etching. Balatonalmádi, Lake Balaton, 2008.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Modification of AZO thin film properties by annealing and ion etching
Rok vydání: 2008
Místo konání: Balatonalmádi, Lake Balaton
Autoři: Soňa Flickyngerová , Marie Netrvalová , Lucie Prušáková , Ivan Novotný , Pavol Šutta , Vladimír Tvarožek
Abstrakt CZ: Na naprášených tenkých vrstvách ZnO:Al (AZO) byl vyšetřován vliv žíhání a iontového leptání na strukturní, elektrické a optické vlastnosti. Bylo použito podepoziční žíhání při teplotách 200 až 400°C ve formovacím plynu během 1 hodiny a vysokofrekvenční iontové leptání po žíhání. Rychlost iontového leptání byla 7 nm/min. Topografie povrchu se po iontovém leptání výrazně změnila - povrch vzorku byl drsnější (Ra = 33 nm) v porovnání se vzorkem, který byl pouze žíhaný (Ra = 9 nm). Po podepozičním žíhání na teplotu 400 °C a iontovém leptání byla pozorována vyšší propustnost (v rozsahu vlnových délek 400 - 1000 nm) než u neleptaných vzorků. Číslo výhodnosti (F) se zvyšovalo se zvyšující se teplotou žíhání.
Abstrakt EN: Effects of annealing and ion etching on the structural, electrical and optical properties of sputtered ZnO:Al (AZO) thni films were investigated. The post deposition annealing at temperatures Ta = 200 - 400 °C in the forming gas for 1 hour and ion RF-sputter etching after annealing were used. Ion-sputter etching rate was 7 nm/min. The surface topography changed noticeably after ion-sputter etching - surface of sample was rougher (Ra = 33 nm) in comparison with annealed sample only (Ra = 9 nm). After the post-deposition annealing tepmerature Ta = 400 °C and ion sputter etching thin films have higher transmittance (in the range of 400 - 1000 nm) than non etching samples. Figure of merit (F) became higher with increase of annealing temperature.
Klíčová slova

Zpět

Patička