Přejít k obsahu


Microstructure of hydrogenated silicon thin films prepared from silane diluted with hydrogen

Citace: [] MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P., VAN ELZAKKER, G., ZEMAN, M., MIKULA, M. Microstructure of hydrogenated silicon thin films prepared from silane diluted with hydrogen. Applied Surface Science, 2008, roč. 254, č. 12, s. 3690-3695. ISSN: 0169-4332
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Microstructure of hydrogenated silicon thin films prepared from silane diluted with hydrogen
Rok vydání: 2008
Autoři: Jarmila Müllerová , Pavol Šutta , Gijs Van Elzakker , Miro Zeman , M. Mikula
Abstrakt CZ: Výsledky získané z FTIR a TEM měření jsou provedeny na křemíkových tenkých vrstvách deponovaných plazmou podpořenou chemickou depozicí (PECVD) ze silanu ředěného vodíkem. Obsah vodíku, mikrostrukturní faktor, objemová hmotnost a objem vibračních dipólů Si-H byl stanoven v závislosti na vodíkovém ředění. Výsledky ředění silanu vodíkem vedly k nestejnorodému růstu, během něhož se vyvíjí materiál z amorfního hydrogenizovaného křemíku (a-Si: H) na mikrokrystalický hydrogenizovaný křemík (mc-Si: H). S rostoucím ředěním přechod z amorfní na mikrokrystalickou fázi se jeví rychlejší a průměrná objemová hustota filmů klesá. Vrstvy mc-Si:H jsou směsí fází (krystalické a amorfní) a jsou bohaté na dutiny. Různé konfigurace vibračních vazeb Si-H dipolů byly pozorovány v a-Si: H a mc-Si: H.
Abstrakt EN: We report results obtained from FTIR and TEM measurements carried out on silicon thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen. The hydrogen content, the microstructure factor, the mass density and the volume per Si-H vibrating dipoles were determined as a function of the hydrogen dilution. Hydrogen dilution of silane results in an inhomogeneous growth during which the material evolves from amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) to microcrystalline hydrogenated silicon (mc-Si:H). With increasing dilution the transition from amorphous to microcrystalline phase appears faster and the average mass density of the films decreases. The mc-Si:H films are mixed-phase void-rich materials with changing triphasic volume fractions of crystalline and amorphous phases and voids. Different bonding configurations of vibrating Si-H dipoles were observed in the a-Si:H and mc-Si:H.
Klíčová slova

Zpět

Patička