Přejít k obsahu


Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air

Citace: [] VLČEK, J., HŘEBEN, S., KALAŠ, J., ČAPEK, J., ZEMAN, P., ČERSTVÝ, R. Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air. In Technical Conference Proceedings. Chicago: Society of Vacuum Coaters, 2008. s. 717-721., ISSN: 0737-5921
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air
Rok vydání: 2008
Místo konání: Chicago
Název zdroje: Society of Vacuum Coaters
Autoři: Jaroslav Vlček , Stanislav Hřeben , Jiří Kalaš , Jiří Čapek , Petr Zeman , Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Nové materiály kvaternárního systému Si-B-C-N jsou velmi zajímavé pro jejich možné využití za vysokých teplot a v agresivním prostředí. V této práci byly připraveny vrstvy Si-B-C-N na substráty Si a SiC za použití reaktivního dc magnetronového naprašování z terčů C-Si-B a B4C-Si v dusíko-argonové plynné směsi. Vrstvy připravené za optimalizovaných podmínek (terč B4C-Si, plynná směs 50% N2 + 50% Ar) vykazovaly extrémně vysokou oxidační odolnost ve vzduchu při zvýšených teplotách (dokonce nad 1500°C). Vytváření ochranných povrchových vrstev (skládajících se převážně z Si a O) během oxidace bylo potvrzeno pomocí transmisního elektronového mikroskopu s vysokým rozlišením (HRTEM), analýzy pružně rozptýlených nabitých částic (RBS) a rentgenové difrakce.
Abstrakt EN: Novel quaternary Si-B-C-N materials are becoming increasingly attractive because of their possible high-temperature and harsh-environment applications. In the present work, amorphous Si-B-C-N films were deposited on Si and SiC substrates by reactive dc magnetron co-sputtering using a single C-Si-B or B4C-Si target in nitrogen-argon gas mixtures. Films deposited under optimized conditions (B4C-Si target, 50% N2 + 50% Ar gas mixture) exhibited extremely high oxidation resistance in air at elevated temperatures (even above 1500°C). Formation of protective surface layers (mainly composed of Si and O) was proved by high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM), Rutheford backscattering spectrometry (RBS) and X-ray diffraction (XRD) measurements after oxidization.
Klíčová slova

Zpět

Patička